南粤36选7开奖记录:隔膜式排泥閥的結構介紹

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發布時間: 南粤36选7开奖走势图 www.wucfwq.com.cn 2017年9月12日

  隔膜式排泥閥結構隔膜式排泥閥能夠穩定地保持兩種狀態(打開和關閉),這種閥門的最大特點是節能。因為它在穩定狀態下是不消耗能量的。只有當它從一個狀態轉到另一個狀態時才要消耗能量。故特別適用于需要節省能量的場合。例如植入生物體內的生物醫療設備、宇宙飛船等。具有廣闊的應用前景。

 

 

 ?。祝幔紓睿澹虻熱擻冢保梗梗賭晏致哿艘恢炙忍木駁縝囊禾宸?。其基本原理是采用硅薄膜,在它的一邊帶有一個遇熱膨脹的SiO2 層,以提供內部的壓力強迫隔膜彎曲。隔膜連在兩個導電電極上(在每一凹進去的空腔里的底部),每次電極可以使隔膜下降。這兩個帶有電極的空腔由一個窄的通道連接,隔膜下面的空間里充滿了空氣,當其中一個受到靜電影響被拉下去時,下面的空氣就強迫另外一個向相反的方向彎曲。根據隔膜的一部分區域是否被強迫與閥座接觸,它就可以打開或關閉閥門。

  雙穩態隔膜驅動裝置的制造過程是首先用HNA在硅襯底上蝕刻出一個偏斜的空腔,接著通過掩膜注入磷制造電極。采用1μm的氧化硅和7μm的硅形成絕緣硅晶片(SOI)制造隔膜。在將兩個晶片融合在一起前,先在SOI晶片上生長出500nm的SiO2 層,來得到負責彎曲7μm的硅隔膜的壓縮層。兩個晶片被結合在一起,SOI晶片在TMAH時被削薄,使用1μm的氧化物埋層作為停止點。然后用干蝕刻削薄這個氧化物埋層,規劃它的形狀制作成掩膜版,在TMAH時用它來有選擇地去除隔膜。隔膜的蝕刻進行到露出下面的注入電極,沉積鋁達到電器連接。盡管他們示范了這個雙穩態驅動裝置(測量到的偏移范圍是±10μm),但是并沒有提供真正能應用于閥門的結論。